교육상세정보

필수 선행과목

HFSS 기본

교육 소개

교육 과정 소개

■ 필수 선행과목

HFSS 기본

■ 수강 대상

반도체/디스플레이 제조 공정의 RF Source 장비 관련 개발 엔지니어 or 연구생

■ 수강 목적 

상용 3D CAD파일(*.step, *.sat, *.iges 등)을 Import하여 AEDT 3D Modeler 환경에서 해석 진행

Capacitor 용량에 따른 전류 분배 및 전/자기장 필드, 임피던스 변화 확인

Source Matcher의 매칭 매커니즘 및 매칭 전/후의 동작 특성 확인

복잡한 챔버 형상의 단순화를 통한 해석 시간 단축

■ 교육 소개 

* 반도체/디스플레이 생산 장비 중 증착/식각에 사용되는 RF Source 해석 특화 과정

Plasma 발생용으로 사용되는 RF Source는 일반적으로 고주파 RF 신호원을 사용하게 되고 대표적으로 전극 타입의 CCP(Capacitively Coupled Plasma), 코일 타입의 ICP(Inductively Coupled Plasma) Source가 있습니다.

본 교육에서는 자체제작한 ICP, CCP 챔버 모델을 제공하며 Ansys Electronics 제품군인 HFSS, Circuit 툴을 이용한 전자기장 필드 및 임피던스, 코일의 전류 분배 해석 방법 등을 실습합니다.

따라하기 쉽게 한글로 제작된 교재 및 다양한 예제를 사용한 교육을 통해 RF Source 분석 방법에 대해 알아 볼 수 있는 시간이 될 것입니다.

■ 교육 상세 일정  

1일차

LE01 : RF Plasma Source 소개

WS01 : 4-Coil ICP Source Antenna 해석

WS02 : 2-Coil ICP Source Antenna 해석

WS03 : Dynamic Link Advanced

WS04 : CCP ? PECVD 챔버 해석

WS05 : HFSS 모델 형상 분석 및 단순화 실습

Appendix : ICP Source 열 해석 방법 소개

수강생 필독사항

STEP 1교육신청

홈페이지에서 로그인 하신 후 원하시는 교육을 선택하여 2개월~최소 7일전에 신청합니다.

STEP 2신청 메일 확인

교육 신청을 완료하시면, 마이페이지의 메일주소로 신청 접수 완료 메일이 발송됩니다.

STEP 3교육 승인 메일 확인

교육시작 2주전부터 순차적으로 승인메일이 발송되며, 마이페이지에서 상세 정보를 확인하실 수 있습니다.

※ 안내메일을 받지 못하신 경우,

• 스팸 메일함을 확인하여 주시기 바랍니다.
• 마이페이지에서 메일 주소를 확인하여 주시기 바랍니다.
• 일부 기업의 경우 보안정책 등의 이유로 알림메일을 차단하는 경우가 있습니다.
• 교육 공문은 개별적으로 발송되지 않으며, 교육 승인 메일을 받은 교육생을 대상으로,
  교육 시작 1주일 전 '마이페이지'에서 해당 교육 과목에 대한 공문 다운로드가 가능합니다

* 1, 2번 내용 확인 후에도 안내메일을 받지 못하신 경우, 태성에스엔이 카카오톡채널 또는 교육센터로 재발송 요청해주시기 바랍니다.

STEP 4교육참석

교육시간은 오전 10시 ~오후 5시(Mechanical 기본은 오전10시 ~ 오후6시, 구조해석 SpaceClaim은 오전 9시 ~ 오후 6시)이며, 신청정보 확인 후 출석부에 서명을 합니다.

STEP 5수료증 발급

교육 종료 후, 홈페이지 로그인 > 마이페이지 > 전자설문지 작성 후 수료증을 발급받으실 수 있습니다.

※ 교육취소

• 태성에스엔이 CAE Academy 강의는 사전에 강의 준비가 완료되기 때문에 수강 당일 취소는 불가하오니 이점 유념하시기 바랍니다.
• 교육과정 시작 4일 전까지 홈페이지 로그인 > 마이페이지 에서 직접 취소할 수 있습니다.
• 교육 과정 시작 3일 이내 신청 취소를 희망하시는 경우 반드시 신청자 이름, 과정명, 교육일자, 취소 사유를 기재하여 edu@tsne.co.kr로 이메일을 보내주시면 담당자 확인 후 절차에 따라 진행됩니다.