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[기타]Structural Analysis of Metal Mask Using CMAS

[기타]Structural Analysis of Metal Mask Using CMAS

CMAS를 이용하여 금속 마스크의 미세패턴 부분의 등가물성을 구하고 이를 활용하여 금속마스크의 거동을 분석한 내용입니다.
  • topic자료형식 PDF
  • person담당자 마케팅팀 (marketing@tsne.co.kr)
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CMAS를 이용하여 금속 마스크의 미세패턴 부분의 등가물성을 구하고 이를 활용하여 금속마스크의 거동을 분석한 내용입니다.
[기타]Structural Analysis of Metal Mask Using CMAS

CMAS 본사이 사이버넷에서 발표한 금속마스크에 CMAS를 활용한 사례


ANSYS Workbench를 사용하여 금속 마스크의 양쪽 끝에 인장 하중을 가 했을 시의 변형거동을 확인 합니다.  마스크 부품의 구조가 매우 미세하기 때문에 분석을 하는 비용이 많이듭니다.

따라서 Multiscale 분석 도구인 CMAS를 사용하여 미세패턴 구간을 균질화 분석하여 등가 물성을 계산함으로, 미세 구조를 실제 모델링 하지 않고도 구조해석을 수행할 수 있으며, 비용도 줄일 수 있습니다.